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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
詳情介紹：
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
C型（低音反射型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
根據(jù)溫度變化的伸縮和位置精度的設(shè)備，在細(xì)微測(cè)量設(shè)備等的設(shè)備上通過清潔空氣調(diào)節(jié)濕度控制，排除在設(shè)置地方環(huán)境變動(dòng)的影響。
配合客戶的需求，對(duì)應(yīng)所有特殊對(duì)應(yīng)品的要求。
製品のポイント
- 清浄度はISOクラス４(クラス10)です。
- ±0.1℃～±0.005℃の溫度コントロールが可能です。
- 內(nèi)蔵裝置に合わせた設(shè)計(jì)が可能です。
- 複數(shù)の保護(hù)回路により**性を考慮しました。
- 製品**の原因となる粒子、ガスの付著防止や溫度?濕度の変化による膨張、収縮防止のための、高度清浄環(huán)境、高精度の溫度?濕度環(huán)境の創(chuàng)出します。
- 濕度制御は40～60％RHの標(biāo)準(zhǔn)仕様範(fàn)囲のほか、5～40％RHの低濕度仕様のご要望にもお応えします。
- PID制御、超精密部品および溫度精度に合わせた気流システムを採(cǎi)用しており、溫度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能です。
規(guī)格?仕様について
| Cタイプ（エンクロージャー型） |
?測(cè)長(zhǎng)機(jī)、ステッパーに*適な機(jī)器です。
?濕度制御機(jī)構(gòu)、送風(fēng)機(jī)、HEPAフィルターを內(nèi)蔵した空調(diào)機(jī)と作業(yè)域(チャンバー）にて構(gòu)成されています。 ?チャンバーには自動(dòng)シャッター(電気、圧空)、內(nèi)部裝置の操作確認(rèn)用窓、メンテナンス用扉を取付けることができます。 ?HEPAフィルターを天井に配置した垂直層流タイプと橫に配置した水平層流タイプがあります。 |
|---|---|
| Bタイプ（開放型） |
?プロジェクションアライナー用
?垂直層流型クリーンベンチの背面に溫度制御機(jī)構(gòu)付き空調(diào)機(jī)を內(nèi)蔵したオープンタイプの機(jī)器です。 ?據(jù)付面積が小さく、また移動(dòng)が容易なキャスター付で取扱性に優(yōu)れています。 |
| Sタイプ（分離型） |
?電子ビーム描畫裝置、処理風(fēng)量50m/min以下の小型機(jī)器に*適です。
?空調(diào)機(jī)を作業(yè)域(チャンバー)から分離してダクト方式を採(cǎi)用したことにより、 騒音、振動(dòng)、電磁ノイズ等を遮斷します。 また正面?両側(cè)面?背面の４方向から內(nèi)部裝置を操作できます。 ?吸込口と作業(yè)域をダクト連結(jié)した循環(huán)方式の機(jī)器もあります。 |
| 主な用途 |
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| 半導(dǎo)體製造 |
ステッパー（縮小投影露光裝置）、アライナー、電子ビーム描畫裝置
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| 表示パネル製造 |
液晶パネル、プラズマディスプレイ、FED
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| 精密加工 |
鏡面研磨機(jī)、レーザー加工機(jī)、磁気ヘッド切削機(jī)、精密レンズ研磨機(jī)、CD-R?DVD-R用スピンコーター
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| 精密測(cè)定器 |
精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)、２次元?３次元測(cè)長(zhǎng)機(jī)
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| バイオロジカリー |
精密顕微鏡、溫濕度変化を嫌う試料の取扱い等
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